产品简介 UV-9200 是为了能安全和可靠的处理被贴合在切割框架上的8英寸晶片而特别设计的。此款UV-9200根据AE备受领域认证的紫外固化和曝光技术，提供PC控制，简单的操作，极低的操作成本。
UV-9200 全自动紫外固化和曝光装置
UV-9200采用了容易使用的、著名的微软视窗软件操作界面。超薄的液晶显示器在线展示了紫外线强度，照射时间和其他的处理参数，为系统操作提供了全面的视觉监控功能。被授权的操作员（密码保护）能通过方便的屏幕设定来编辑处理参数。
*全自动
处理过程中操作员与晶片框架无需接触。操作员所需做的仅是将提篮放入系统内，启动系统，最后将已完成工作的提篮从机器中取出即可。
*持续循环的处理
不浪费独立晶片曝光照射传输上的时间。智能的传输系统保持持续的晶片曝光照射。
*Windows界面
容易使用，熟悉的微软视窗操作软件界面。液晶显示器显示紫外线强度，曝光时间等。被授权的操作员能够通过触摸屏编辑处理参数。
*安全，无臭氧的紫外线照射光源
整个紫外固化和照射步骤采用优化的波长。低压的水银蒸气灯不需要特别的冷却或氮气系统抵制有害的臭氧的释放，因此提供了一个安全的操作环境和极其经济的操作方式。
*使用标准的6英寸和8英寸晶片框架和提篮
适用于标准的Disco和K&S晶片框架，或者同类产品。如需使用特殊的提篮和晶片框架需要提前告知。
附加特征
1． 在线的紫外强度计量。
2． 操作日志和系统日志被保存在数据库内，用于质量和维护报告。
3． 特殊的操作模式用于配方制定和系统测试。
4． 使用可配置信号灯塔。
UV-9200性能一览
微软的视窗软件操作界面
l 持续循环处理；
l 由电脑控制，使用著名的微软视窗操作软件界面；
l 低成本；
l 安全、无臭氧的紫外照射光源；
l 可处理6英寸、8英寸的晶片贴膜框架/提篮；
l 经济的底座设计，仅有50*100厘米；
典型的紫外固化和曝光步骤概述
1． 携带已被贴膜后的晶片和框架的晶片提篮被放置在装载适配器内等待紫外固化和曝光。
2． 操作员在液晶显示屏上选择预先准备好的紫外固化和曝光配方程序，按开始键启动循环操作。
3． 系统扫描晶片提篮以确认哪个槽内的晶片需要被固化。此信息被用于优化处理循环过程中的材料传输。
4． 系统全自动的将晶片/框架从提篮中传输到紫外固化和曝光站，在那里每一片框架根据事先设定好的程序依次的被进行照射。
5． 当一片框架正处在被照射状态时，下一片框架已经被移动到了待命位置，因此当那一片已经被完成操作的框架被送回他原来在提篮中的位置时，第二片框架已经在被进行紫外固化和曝光了。以这种方式，所有的循环操作时间被大大的节省了。
6． 当所有的晶片框架被完成固化和曝光之后送回提篮，系统将在液晶显示器和系统信号灯上显示已完成了所有步骤。操作员现在可以拿走提篮完成全部的操作步骤。
技术规格
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晶片尺寸： 6英寸、8英寸 |
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框架/提篮类型： 标准的6英寸和8英寸Disco和K&S晶片框架 |
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有效的紫外波长： 365nm |
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生产量： 每12.5分钟可处理一个25片的贴膜框架提篮 |
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控制系统： 奔腾4的PC，Windows 2000操作系统 |
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电压：
110 或者220Vac,
50/60 Hz, |
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功率： 1000W（最大） |
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气压： 72 p.s.i., c.d.a; 5 bar, c.d.a |
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尺寸：（高*宽*长） 40*20*40英寸； 114*50*100厘米 |
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底座： 20*40英寸 50*100厘米 |
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重量：
209 磅；
95 公斤 |
