产品简介 UV-9300 是为了能安全和可靠的处理12英寸(300毫米)的晶片而特别设计的,特点是就在操作过程中,操作员与晶片贴膜框架没有任何接触。根据AE备受领域认证的紫外照射技术,UV-9300 是容易使用和非常经济有效的操作装置。
UV-9300 全自动紫外照射装置(12英寸/300毫米)
UV-9300采用了容易使用的、著名的微软视窗软件操作界面。超薄的液晶显示器在线展示了紫外线强度,照射时间和其他的处理参数,为系统操作提供了全面的视觉监控功能。被授权的操作员能通过方便的屏幕设定来编辑处理参数。
适用于12英寸(300毫米)的生产单位,操作简便、非常环保
1. 晶片贴片框架被自动的从晶片框架提篮中取出,进行紫外线照射处理后被送回原来的提篮槽孔位置中。
2. 高智能的晶片贴膜框架操作处理系统能确保连续的操作,以达到最高的紫外处理生产量。
3. 胶带的类型可以从15个预先编写好的程序中选择,使紫外线照射的处理能更快和简单的被设定。
4. 使用无臭氧的紫外灯,使操作员的安全得到了最好的保障,同时非常的经济(无需氮气和冷却设备)。
5. 紫外灯的产品使用寿命测定器显示了紫外灯的累积工作小时,能提醒操作人员进行及时地更换,以确保平稳的紫外线照射效果。
6. 由紫外灯所释放出来狭窄的长波紫外光谱可保护晶片免受过量的照射,因为这其中没有红外线成分的存在(所累积的热量可损坏紫外胶带的黏胶剂)。
UV-9300性能一览
微软的视窗软件操作界面
l 完 全自动,可连续处理单一晶片贴膜框架提篮的操作系统。
l 由电脑控制,使用著名的微软视窗操作软件界面。
l 完全在线的程序监控功能,显示动态的进程图标。
l 低成本要求,无需氮气、排气或冷却设施。
l 安全、无臭氧的紫外照射光源。
l 可处理6英寸、8英寸和12英寸的晶片贴膜框架/提篮。
l 经济的底座设计,仅有58*111厘米。
UV-9300的紫外照射处理采用的是优化波长。低压的水银蒸气灯不需要特别的冷却或氮气系统抵制有害的臭氧的释放,因此提供了一个安全的操作环境和极其经济的操作方式。
技术规格
晶片/晶片框架尺寸: 所有标准的尺寸:6英寸、8英寸和12英寸 |
有效的紫外波长: 365nm |
生产量: 每8分钟可处理一个13片的贴膜框架提篮 |
控制系统: 奔腾4的PC,微软的视窗TM2000操作系统 |
电压:
110/220Vac, 50/60 Hz, |
功率: 1000W(最大) |
紫外光源: 无臭氧,低压紫外灯 |
气压: 72 p.s.i., c.d.a; 5 bar, c.d.a |
尺寸: (高*宽*长) 56*23*44英寸; 141*58*111厘米 |
底座:
23*44英寸
58*111厘米 |
重量: 429
磅; 195 公斤 |
规格可能会在没有预先通知的情况下有所变动。
*处理硅片时所使用的紫外胶带照射需要200mJ/平方厘米,晶粒尺寸〉1平方毫米