产品简介 UV-957数字控制紫外照射装置为最大达300毫米的单片晶片处理提供了受控制和具重复性的紫外照射过程。UV-957的数字控制面板显示了全部在线的处理参数。这装置所拥有的420毫米直径的紫外照射窗口可处理最大达300毫米的所有标准晶片和晶片贴膜框架的组合。

UV-957300毫米晶片而设计的紫外照射装置

UV-957是根据AE备受领域认证的紫外照射技术而研发制成的,并且还在此基础上增加了在线的紫外强度监控功能和紫外灯的产品使用寿命测定器。预知详细的紫外照射处理分析可以观看系统的显示器。根据胶带的参数和在线的紫外线强度读出,可以随个别的应用而制定出最优的紫外胶带照射程序。UV-957容易被设定和操作,同时还使用了无臭氧的紫外灯,让操作员更容易操作,并且非常环保,无需特别的氮气和冷却设施,使UV-957完全的便携和经济。

简洁的桌面设计

无需氮气和其他特别的能源连接,UV-957是一个可简易安装的系统,只需插上插头就几乎可以在任何地方使用它。

多功能的数控显示器

UV-957的操作表面是一个多功能的数字显示器,包括了处理周期的计时器,紫外线照射强度和紫外灯产品使用寿命的显示。所需的紫外线照射时间可由操作员输入,按分钟或秒钟倒计时。另外,紫外线照射强度可被监视和在线显示,以确保处理的质量。

UV-957性能一览

可靠、准确和内置式的程序监控显示器

l         适用于最大达300毫米的晶片(拥有420毫米直径的紫外线照射窗口)

l         高度均匀的紫外线照射 10%,在300毫米的直径范围里

l         多功能的数字控制面板

l         在线的系统监控功能:

    ----紫外灯的状态指示灯(发光二极管)

    ----紫外线照射强度测量器

    ----紫外灯的产品使用寿命测定器

l         简洁的桌面设计

l         安全、无臭氧的紫外

    线照射光源

l         紫外单元区域的划出

    设计使维修更加方便

紫外灯的使用寿命测定器

被累计的紫外灯的操作时间将被显示,提醒操作人员及时地更换紫外灯管,以确保平稳的紫外线照射效果,同时简化了维修监控过程。

安全、无臭氧的紫外线照射

UV-957在紫外线照射处理过程中使用了优化的紫外线照射波长。低压灯不需要特别的冷却或氮气系统来抵制有害的臭氧的释放。UV-957提供了一个安全的操作环境和能节省能源的方法来处理最高达300毫米的晶片。由紫外灯所释放出来的狭窄的长波紫外线可保护晶片免受过量的照射,因为这其中没有红外线成份的呈现(所累积的热量可损坏紫外胶带的黏胶剂)。

技术规格

晶片/贴片框架尺寸:       所有标准的尺寸,最大达300毫米的晶片

                               (拥有420毫米直径的紫外线照射窗口)

有效的紫外波长:              365nm

生产量;             50片框架/小时

定时器:电子处理:        1秒.,最大.周期:9.999分钟

电源:              110/220Vac, 50/60Hz,500W(最高限额)

尺寸(高**长):       10.2*29.5*21.7英寸;25*75*55厘米

高度:(包括盖子的体积):29.5英寸;    75厘米

重量:          127.5磅;     57公斤

 

*处理硅片时,所使用的紫外胶带照射需要200mJ/平方厘米,晶粒尺寸〉1平方毫米。